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本文标题："铸铁表面加工显微轮廓测量仪器-光学仪器"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2014-2-11 17:3:27

铸铁表面加工显微轮廓测量仪器-光学仪器

显微干涉轮廓仪的基本缺点，是视场照度明显地比干涉显微
镜低得多，因为它不能用在两个方向都扩展的光源，而采用窄的
发光狭缝。除此以外，又因采用两面镜，使仪器的制造和调整变得
复杂。因此，显微干涉轮廓仪不能够取代干涉显微镜，检查有规
则痕迹的表面，采用干涉显微镜还比较合适。

改进型的显微干涉轮廓仪，能正确评定被检表面加工痕迹的深度。

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