本文标题："从固定的接触点上测量电流-测量光学仪器"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2014-8-19 22:4:54
从固定的接触点上测量电流-测量光学仪器
电子束器件测试电子束探针能用来进行半导体元件的某些
特殊电学测试，并且从原理上来说优越于机械探针，因为它可使机
械损伤减至最小，而且探针的大小可以做得非常小.它的一个缺
点是电子束能裂解试样上面气氛中的真空泵油，使得在半导体表
面沉积了一层薄的碳膜(这样电子束信号的诊释可能是困难的）
因此不能获得足够多的数据来全面地表征元件的性能.
可以使用两种不同的操作方式.第一种是被测元件通过常规
的接触与互连方法被偏置，而元件表面任何选定点的二次电子发
射被用来估计该点的相对电压.
第二种是在元件上只作一个外连接线，而将电子束本身作为另一个连接线.
然后从固定的接触点上测量电流.当检测非常复杂的电路时，第一种方式是
特别吸引人的，因为它能从电压衬度发现失效点
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