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本文标题："实验检测用电子显微镜-分辨率非常高的表面特征"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2014-8-19 5:15:15

实验检测用电子显微镜-分辨率非常高的表面特征

由于大多数试样在通常状态下，对直接用于研究来说都不够薄，

因此减薄试样是透射电子显微镜实验程序中的重要一环.如果需要

研究的是比较厚的复合材料中的单个薄层，

则宁可采取剥层而不是减薄的办法.例如，若要研究集成电路中200

埃厚的N i/Cr电阻器的结构时，则可先从电路块背面相继去除一个

小区域中的硅和氧化硅，并从正面去除保护授盖层.于是电阻膜将

由没有去掉的硅支撑着:

这样可以固定整个组件以供检测.只有当需要分辨率非常高的表

面特征时才应该使用表面复型法，否则扫描电子显微镜更为便

利.

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