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本文标题："检测金相显微镜通常使用小于100倍的放大倍数"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2014-8-20 17:15:31

检测金相显微镜通常使用小于100倍的放大倍数

X射线形貌照相上面所述的衍射仪并不是观察衍射效应

的唯一方法.例如，适当地选择x射线、试样和底片的几何位置.

则由位错和层错这样的品体缺陷造成的附加衍射效应将产生缺陷

照相图象(x射线形貌照相).照片是试样和试样内部有垂直于衍

射面的柏格斯矢量的分量的所有位错的1:1的投影复型.任何放

大都必须通过其后的底片的放大才能获得，并且由于底片的彩.

粒度的影响，放大倍数只限于几百倍之内.可是，在半导体工作中，

通常使用小于100倍的放大倍数.因为放大倍数低，因而与电子显

微镜观察相比，分辨率是差的.当位错密度相当低时，这方法最

适合.形貌照相广泛用来研究器件工艺过程中引起的损伤缺陷，

与其它方法相比，它具有非破坏性的优点.

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