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本文标题："粗糙度测量广泛使用的另一种仪器是电子显微镜"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2015-7-11 16:26:3

表面粗糙度仪测量广泛使用的另一种仪器是电子显微镜

大多数表面都有某种程度的随机性，因此需要以统计形式来分

析，在统计学上用来代表单个轮廓需要的数据点数是很大的，为

了表示一个区域，要将这个数平方，以及在数据处理和测陬方面

产生了难以解决的问题，曾试图用光学方法直接得到表面功率谱

表达式来解决这个数据获取的问题，但是这种技术受几个不利条

件的限制：它假设表面的统计规律是平稳的和正态的；它应能给

出便于数据处理过程的信息形式；它需要用透明物质做成的表面

复制品，以及随之带来一些缺欠，广泛使用的另一种仪器是扫描

电子显微镜，它用电子束的橱格式扫描产生表面的图象，它的高

分辨率和聚焦深度使它成为研究较光滑表面的极有用的仪器，但

是评定粗糙的表面却很困难。

缺乏定量的拓扑图信息是所有上述技术的严重缺点，特别是工

程应用中所关心的特性在分布的尺寸范围内可复盖许多数量级的

场合，研究三维空间表面的最可靠的方法仍然是用触针式仪器在

表面上测得一组线值，本文讨论了这个技术，并叙述了用三维表

面测量的新的完整的自动系统的设计，结构和使用。

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