本文标题："表面轮廓定量测量常用的光学显微镜定制应用"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2015-7-11 21:26:25
表面轮廓定量测量常用的光学显微镜定制应用
自动触针系统
触针式仪器是得到表面轮廓定量测量的传统工具，然而，由于
它可能划伤表面以及对表面的错误描述面受到批评，非接触测量
技术的倡导都对触针拖动引起的划伤和由于针尖有限半径引起的
衰减影响进行过评论。
在许多工程、机械制造经济学、节能和特别是影响普通消费者
的医学等领域里，加深了对表面表面粗糙度仪重要性的认识，这对目前
工程表面的研究赶着促进作用，令人惊讶的是，这种研究突出了
需要直接解决的新问题，以便解决提供足够的表面特征的原始课
题。
尽管在二十多年前就已认识到单个表面特征参数不太适当，但
是工程表面的标准很少发生改变，停止不前的原因主要是没有认
识到三维问题，制作了精巧的能在整个被测表面上平行滑行的触
针式扫描机构，以便能得到三维信息，后来，利用类似的原理用
泰勒塞夫轮廓仪做了个扫描系统，它能满意地用来解决实际问题
，然而，它要求对泰勒塞夫的设备作较大的变动，以便在每次滑
行以后将其触针臂返回到起始位置。
扫描电子显微镜本身就能方便地扫描并产生所研究表面的图象
，尝试过用三种方法定量分析来自扫描电镜的信息：信息强度即
对比度，立体照相和电子光截法，在每种方法中，都遇到二次电
子发射的判断和预测问题，在分析表面粗糙度时也研究过微波的
应用，但还没有成功，表面的算术平均粗度值和度量反射能力的
安培计相应读数之间没有确切的关系。
同时，分差带的要求与他们自己的表面微观结构相比将变得更
接近，而我们已经充分建立起来的解析工程表面的触针式仪器仍
然是最富有生命力的工具。
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