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本文标题:"光学显微镜微观偏析是掩膜测量中广泛使用的工具"

发布者:yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间:2015-11-11 17:1:2

光学显微镜微观偏析是掩膜测量中广泛使用的工具

 
光显微技术
    光学显微镜是掩膜测量中最广泛使用的工具。在掩膜制备
过程中,有好几个步骤需要测量和检验。光学显微镜适合于生产性
操作,因为它们的体积较小,而且技术人员能很快掌握操作技
术,包括能很快掌握拍摄后立即冲洗的35mm宽的胶卷的使用技
术。
 
微观偏析
    到现在为止,我们仅讨论了相对尺寸较大的体系在平面状圃
液界面定向凝固时的溶质分配。由于这种定向体系简
单,在作了一些近似处理后,推导出的方程也都是简单的。但若
将以前所用的方法鹿甩于枝晶的凝固,情况就变得极其复杂。因
此,必须进行大量简化才能处理这类问题。
 
生长中界面的形态稳定性是不能用经典热力学的定义加以确
定的,当前对平衡热力学的引伸还没能提供一种完全可接受的替
代方法。为了对生长形态进行理论分析,有必要采用建立在试探
基础上的稳定性判据。所作的最简单的假设是:生长中所呈现的
形态是具有最大生长速率或最小过冷度的形态。另一种方法是采
用稳定性变量,建立扰动的数学函数来描述围液界面,以确定界
面是否可能从一种形态转变成另一种形态。如果扰动随时间进程
而增强,就认为界面形态是不稳定的,反之则是稳定的
 
 
现在来讨论等轴凝固的情况,它与柱状凝固完全不同
在这种情况下,热通量是从熔液而不是从固相传到型
壁。因此,为了在固液界面前沿建立必要的温度梯度,熔液必须
是过冷的。液相中的温度梯度将为负值,而固相中的温度梯度基
本上等于零。这样,扰动在其尖端处将面临更大的温度梯度,导
致热通量增加,使尖端处生长速率增大。因此,在等轴凝固条件
下,纯物质的界面总是不稳定的(忽略动力学过冷度)。直接的
结果是;纯金属等轴晶总是以树枝状形态生长。由于
不存在偏析,在固态纯金属铸件中将不能发现枝晶的痕迹。幸
而,这种情况下的枝晶生长特征可以在纯有机物或纯水中非常清
楚地看到。
    因此可以推断,纯金属的固液界面当温度梯度为正时总是稳
定的,而当温度梯度为负时总是不稳定的。

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