本文标题："层的厚度测量各种物理分析显微镜,精确测量晶格"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2015-11-11 21:1:23
层的厚度测量各种物理分析显微镜,精确测量晶格
物理分析
各种物理分析技术。从样品的物理分析可以
得到晶向、晶体完整性、缺陷与位错密度、切割或抛光损伤的程
度、层的厚度测量以及表面沾污的研究等情况。在大多数情况
下，体材料和表面的分析方法之间是没有明显差别的，而在有差
别的地方
腐蚀和显微术
物理分析最重要的方面是采用普通显微镜或电子显微镜直接
观察材料。结构缺陷常常可以利用适当的腐蚀方法来增强。这个
方法的突出的优点是效率高而且不需要昂贵的仪器设备。
X射线技术
在各种方法中，利用X射线花样是有益的。劳埃法通常用于
单晶定向，使晶体受到白X射线束的照射。为了保证晶体中各个
平面都能满足布拉格定律，必须使X射线束的波长范围适应这种
变化的需要。一般是摄取背反射照片，所得的光斑花样位于双曲
线上。所有的光斑均是从单晶区的各个平面反射而产生的。这种劳
埃花样反映出晶体的对称性。体单晶是按大致给定的方向切割的，
然后把它装在测向器的支架上，再在X射线装置上进行调准。定
向以后可以把整个部件安装在切割机上，按给定的方向切割。
透射X射线形貌图是另一种非常有用的方法，不仅适用于位
错的观察，而且也适用于精确测量晶格参数和应力的分布。对于
砷化镓和磷化铟来说，为了使X射线透过去，必须将样品减薄到
70微米左右。反射形貌图就不受厚度的限制，使测量能在很浅的
表面层内进行。穿透深度是反射平面的函数，它决定了表面的倾
角和布拉格角。采用CuK射线，对砷化镓来说，其穿透深
度在0．5到22微米之间，而对磷化铟来说，其穿透深度为0．3到11
微米
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