本文标题："测量外延层厚度技术,厚度测量光学工具显微镜"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2015-11-12 4:1:54
测量外延层厚度技术,厚度测量光学工具显微镜
厚度测量
测量外延层厚度的最简单的方法是解理染色法。这个工艺方
法是可以直接观察的，而且不需要进一步钻研与表中不同的有效
腐蚀剂。但是，它的缺点是属于破坏性的测量，而且分辨率极限
大约为±O．5微米。因此，虽然磨角可以在某种程度上改善其分
辨率，然而，薄膜厚度的测量总是困难的。
电子衍射
电子衍射效应主要是用于研究晶体表面的最初几个原子层。
无论是低能的还是高能的电子都可以使用；我们首先考虑低能电
子的情况。
从晶体表面背散射的电子束投射到适当的荧光屏或照相底片
上。入射束的能量可以低到100电子伏。低能电子衍射的优点是
容易评价的。由于表面(最初证明是清洁的)具有吸附气体后引
起的结构变化，可以看作简单的吸附过程。这个方法是非破坏性
的，但是只能定性地提供表面的物理图像。主要问题是对散射效
应缺乏完整的理论基础，因此进行分析是比较困难的。高能反射
电子衍射(RHEED)使用大约30千电子伏的电子束轰击样品，
以尽可能接近相切的角度入射。衍射花样是由接近表面的原子层
产生的；根据表面结构对它们进行解释，这是与低能电子衍射相
同的，可是，还不能很好地确定穿透的精确深度。在分子束外延
中使用高能反戴电子衍射，以保证砷化镓衬底的表面在分子束轰
击之前是清洁的。正如X射线一样，电子束也可以用于透射显微
镜并产生衍射花样。
表面强化加表面润滑处理
是表面强化的软氮化和增加表面润滑性的渗硫相结合的复合处
理，经过这种复合处理的机械零件适合于需要耐疲劳和要求润滑
的条件。
以上概述了提高机械零件强度的各种热处理方法，其中有些复
合处理目前实践经验还不太多，优越性还末充分表现出来，还可
能有更多的复合热处理方式有待开发和研究。
下面将按专题探讨提高机械零件各项性能的热处理方法。
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