本文标题："微量分析,质谱分析是检验体材料的最通用的方法"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2015-11-12 9:2:24
微量分析,质谱分析是检验体材料的最通用的方法
化学分析
体材料
质谱分析是检验体材料的最通用的方法。其基本程序是众所
采用质谱方法以后，已经得到了比较纯的原材料和体晶体；然而这种
方法只能确定杂质的数量而不能鉴别其活性——后者必须用与此
不同的方法来确定。后面将讨论质谱在薄膜分析中的应用。
发射光谱是用于微量分析的最老的方法之一。同质谱一样，
这个方法可以采用火花激发源。发射光谱法使用一个光栅将发射
光分离成为有用的光谱。发射光谱的灵敏度一般低于质谱。
通过有意地加入已知杂质并与质谱结果进行对照的方法，
已经可以进行定性分析。由光致发光外推所得到的附加讯息就可
以了解杂质的活性。这种鉴定方法本来是用于半导体表面分析的
——为了得到作为层内深度的函数关系，就需要逐层剥离。磷化
铟的逐层腐蚀至今还没有得到任何结论，这很可能是由于暴露的
自由表面实际上掩盖了体内可能出现的变化。发光测量在发光器
件的发展中具有重要的意义；但是，在材料的发光特性和微波器
件之间还没有得到任何可以进行比较的关系。
X射线技术
将X射线与电子显微镜联合起来使用，就可以进行杂质分
析。如将X射线分光光度计装到主体显微镜上，就更容易直接观
察所研究的区域，并且分辨率比较好，可以达到1微米。但是，
电子显微镜的限制是没有一个好的晶体分析器能在整个质量范围
内给出最佳的灵敏度。最轻元素的灵敏度大约从lOppm下降到
1000ppm。
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