本文标题："器件电效率细小电子元件几何结构轮廓测量显微镜"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2015-11-12 16:2:58
器件电效率细小电子元件几何结构轮廓测量显微镜
这种特殊结构的器件，在用载流子浓度和有源层长度的
最佳乘积表示其特征时，最终的热密度将受到所用长度的影
响。因为，渐近瞬态温度与这个长度是线性相关的。和半无
限空间的扩展电阻有关的平衡温度与这个长度无关，而与该
器件的半径成线性关系。
在本分析中可能出现的复杂性，是由于半导体材料的热
导率与温度成反比关系而引起的。虽然，找出了对于可变电
导率的稳态解，以致可以用线性分析求出所引进的误差大
小。但是，瞬态解还是忽略了这个问题。
对几种几何结构，已经推导出在单一脉冲和周期性激发
两种情况下在有源层内的最终的温度分布。利用归一化的热
时间常数和稳态温度这两个可变量，以图解的形式表示这些
结果。并用有源层的长度和有关的覆盖层的厚度作为参数，
计算了用砷化镓和硅作衬底的，具有特殊几何结构的热时间
常数。
为了更全面地了解这个问题，特别是从材料和几何结构
上考虑，应当了解由于有源区内的温度分布而引起的对某种
器件的限制，并尽可能地使这些影响减至最小。器件电效率
的改善直接与管壳的热效率有关，因此也与整个散热器的设
计有关。
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