本文标题："冶金学机械和热焊样品分析技术-细小器件测量显微镜"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2015-11-13 4:5:4
冶金学机械和热焊样品分析技术-细小器件测量显微镜
对金属与半导体接触，除个别一些特例以外，都只是在一般
现象上的了解。对大多数器件来说，只要这种接触根本不影响或
根本不支配各个器件的最终性能或使其退化就满足了。但是，已
经看出，在把接触直接做到器件(特别是转移电子器件；碰撞雪
崩渡越时间二极管比较少)的有源区时，用砷化镓和磷化铟制造
的器件中，这种接触性质都能支配器件的性能。如能了解这些性
能并能加以控制的话，就可以改善器件的性能。对于可控势垒来
说，异质结结构可能比金属一半导体接触工艺更合适。接触的长期
性能是相当重要的。大多数微波器件是在高电场高温下工作的
——冶金学上的问题已经解决。遗憾的是，建立任何一种结构的
可靠性都需要花一定的时间，因此，新的接触结构需要很长的发
展时间。
通常接触性质是在低场下检定的，而在实验上可以外推到高
场区。要了解金属一半导体在工作条件下的相互作用，尚有许多
工作要做。
在脉冲器件中，因为脉冲长度、占空因子和各种组分的热扩
散率成为决定性的因素，所以分析必须更严格。用珀尔曼对砷化
镓和磷化铟脉冲转移电子器件的分析结果就能得到可与实验结果
相比的相当好的计算值。
为了使结构两端的热阻抗减至最小，我们需要：
①制造小直径的器件，必须小于100微米。
②对于高功率发生器，采用多阵列韵小直径器件，使扩展电
阻减至最小。
③在全部金属一金属和金属一半导体的界面处达到具有良好的
机械和热焊接性能。
④如果其它参数许可的话，应铺造霰散热器结构的器件。
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