本文标题："微加速度计采用体微细加工技术优点,表面微细轮廓仪"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2016-5-12 5:54:16
微加速度计采用体微细加工技术优点,表面微细轮廓仪
微型加速度计都是由压力传感器制造公司生产的，多是压阻悬
臂型。因为压阻效应受温度影响较大，所以压阻加速度计需要温度
补偿，这可能限制其适用的温度范围和最终的分辨能力。而电容式
加速度计对温度不敏感，已被作为替代产品而广泛开发。
已研制成功的几种电容加速度计，其基本的传感器元件、
质量块和支撑梁均由体或表面微细加工技术制成。支撑梁可以是悬
臂型、扭杆型或隔膜型。像电容式压力传感器一样，加速度计的传
感器电容通常很小，因此寄生电容不容忽略，并需要信号形成和放
大等芯片电路。传感器的信号输出可依据所需的灵敏度、活动范围
和波带宽度，用一个简单的开环回路方式或一个更复杂的闭式力平
衡方式得到。在汽车安全系统中应用的加速度计需要有自检功能，
微加速度计都采用体微细加工技术，但采用表面微细加
工技术有以下优点：
(1)表面微细加工装置有内在的支撑。
(2)表面微细加工只需一面加工，这一点传统的IC加工更
兼容。
(3)用表面微细加工出来的装置总体上结构尺寸更小，因此
有更高的生产效率，并能容纳更多的微电子电路。
硅基表面微细加工的的缺点为：
(1)纵向尺寸差异不能大于2 pm，因此质量块的质量太轻，
导致传感器的灵敏度低，为增大质量，在质量块上加重金属层，
如Au。
(2)由于悬置的硅结构很容易运动(由于装置结构的长厚比
大)，因此有贴到支撑底面的倾向，尤其是在加速运动过程中。
这两个问题可通过在表面微细加工过程中采用电镀技术加以
避免。
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