本文标题："微机械精密微小型多工艺复合加工技术分析显微镜"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2016-6-11 21:9:44
微机械精密微小型多工艺复合加工技术分析显微镜
目前，先进制造技术的一个重要发展方向即为微细化、高精度
、复合型加工技术，而精密微小型多工艺复合加工技术是针对日益
增多的精密微小型复杂结构件加工难题而逐渐发展起来的先进加工
工艺。推动该项技术不断深入发展的核心动力，正是随着科技发展
，对微小装置的功能、结构复杂程度、可靠性等要求越来越高，从
而使得对特征尺寸在微米级到毫米级、采用多种材料、且具有一定
形状精度和表面质量要求的精密三维微小零件的需求Et益迫切，如
微小型武器部件、航空航天惯性部件、精密医疗器械和国防及高科
技产品微小型产品等。
微机械加工技术经过多年的研究开发，已迅速发展成为具
有多学科交叉的前沿研究领域。随着微小型机械需求的增长，对微
小型零件结构的复杂程度、材料的多样性、形状精度、表面表面粗糙度仪
等均提出了越来越高的要求，加工难度越来越大，必须研究更加先
进的加工技术，以适应微小型零件的加工要求。车铣加工是一种先
进的切削加工方法，将车铣技术运用于微小型零件的切削加工，是
微小型机械加工技术发展的一个重要趋势。
微小型零件的概念和加工方法
所谓微小型零件，是指几何特征尺寸在数十微米至数十毫
米范围内的零件。比之小的有纳米尺度和微米尺度零件，比之大的
称为常规尺度零件。因此把这种介于微米尺度与常规尺度之间的微
小型零件也称为“微米与中间尺度(micro／meso scale)零件，又
称为介观尺度零件。
关于微制造技术，国际上大致分为两个主要领域，一是以
硅微工艺和光刻电铸(德文Lithographie，Galanoformung，Abform
ung，LIGA)工艺为代表的微制造技术，二是以传统机械制造技术为
背景发展起来的微细结构制造技术，即精密微小型机械制造技术。
起源于集成电路芯片制作技术的硅微加工方法，首先在微
制造领域得到应用，并不断完善和发展，但其三维体加工能力较差
，需要非常的超净条件和受到线宽尺寸的限制，而LIGA或准LIGA工
艺需要较强的射线源，在制造高承载三维复杂结构件方面受到了限
制。
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