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本文标题："SEM要求被测样品表层为喷金镀膜导电材料"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2016-12-7 1:44:41

SEM要求被测样品表层为喷金镀膜导电材料

但是由于SEM要求被测样品表层为导电材料(非导电样品需进行表面

导电(喷金镀膜)处理)，且测量时为防止空气的存在导致电子发生

散射。需将所有电子运行部分处于高真空环境下。这些要求无疑提

高了检测成本，限制了样品的可观测性，如对于具有微细结构的非

导电样品，表面导电处理势必会不同程度地遮盖表面上的精细结构

。此外SEM无法直接获得表面定量的三维形貌信息(Z方向尚未量化)

，而只能对表面形貌进行定性观察。

SPM采用极细的探针(针尖曲率半径一般为10～20 nm)逼近样品

表面，通过检测探针针尖与样品表面之间的相互作用信息(力、电

、磁、热)获得样品的表面形貌(磁畴结构、热导性质等)。最为典

型的当属扫描隧道显微镜(Scanning Tunneling Microscope，STM)

及原子力显微镜(Atomic Force Microscope，AFM)。其中的STM基

于隧道效应理论，它将探针和样品表面作为两个电极并在两极上施

加偏置电压，通过检测探针与样品间隧道电流的变化来获得表面形

貌。这种方法的纵横向分辨率可分别达到0．01 nm和0．1 nm，但

为了使样品与针尖间构成回路，STM要求被测样品表面为导体。

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