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本文标题："超光滑表面微观形貌检测仪器分析电子显微镜"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2016-12-7 4:45:9

超光滑表面微观形貌检测仪器分析电子显微镜

超光滑表面微观形貌检测仪器分析与选择

目前，超精密表面形貌的测量与评定已成为国内外学者研究的

重要方向。由于近年超精密表面测量仪器和测量方法的逐步完善，

使得纳米级表面测量技术快速发展起来，但是随之问题也逐渐暴露

出来。由于对超精密表面的检测没有统一的标准和测量仪器，用不

同测量仪器检测的结果差异很大，无法断定哪一种方法测得的表面

形貌更接近真实表面、可信度更高。因此，需要对常用检测超精密

表面微观形貌的方法与仪器原理、性能进行分析论述，分析这几种

测量仪器的误差成因．空问分辨率及适用范围，以期能找到满足测

量要求的仪器，得到比较可靠的测量结果，为准确地测量超精密表

面提供依据。

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