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本文标题："表面微观形貌测量技术与仪器技术简介"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2016-12-7 9:45:37

表面微观形貌测量技术与仪器技术简介

近年来随着表面形貌研究的深入，又出现了许多新的评价表面

形貌的方法，特定功能参数集法，功率谱密度法，以及利用小波变

换方法来分析表征表面形貌等。

现代测量技术和计算机技术的发展，使测量和描述表面微观形

貌更为简单方便。目前，表面微观形貌测量技术与仪器技术主要有

两个分支：一是以触针法为代表的接触测量法；另一种是非接触测

量法，主要是通过光学技术／电子来获得表面形貌的信息。另外近

几年发展起来的扫描隧道显微技术和原子力显微技术也被用来作为

测量超光滑表面微观形貌的工具，使得表面形貌测量技术达到了分

子、原子尺度。

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