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本文标题："精密制造超精密零件表面的物理和几何检测显微镜"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2016-12-7 16:42:26

精密制造超精密零件表面的物理和几何检测显微镜

三维表面微观形貌的表征与检测

　　　往关于表面粗糙度仪的表征参数都是在某一法向截面所截得的轮廓线上

进行评定，用仅能表征该条轮廓线特性的二维评定参数来代表整个表面

轮廓功能的统计特性是不科学、不全面的，而且也无法真实地反映表面

的功能特性。近年来，精密制造领域对超精密零件表面的物理和几何性

能也提出了非常苛刻的要求，其加工质量和表征方法必须全面、科学，

各测量设备制造商也推出了具备三维测量功能的产品，以增强其市场的

竞争能力。于是，取得表面的真实三维信息并进而提出反映表面功能特

性的三维评定参数就成为当今表面计量领域的研究热点和发展趋势。原

子力显微镜具有很好的三维测量与表征能力，通过AFM三维测量方法研

究、三维表征参数与采样条件研究，可以形成满足国际标准的AFM三维

测量理论，制造出符合国际标准的AFM表面三维形貌测量仪器。维表面

微观形貌的检测技术与国际标准表征

　　由于计算机技术、电子技术、数据处理能力的提高，出现了许多三

维表面微观形貌测量仪器，如三维触针轮廓仪、非接触式光学相移干涉

仪、三维光学触针仪和白光干涉仪等，使得三维微观形貌测量仪走入商

品化和实用化

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