本文标题："形状类似于扫描电子显微镜分析显微镜"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2019-11-30 5:1:47
形状类似于扫描电子显微镜分析显微镜
特别是随着高度集成化的进展,对于大型外存储器也是可能适用的
。出磁泡材料所必备的恃性。仅仅沿一个结晶轴方向易于磁化时,泡的
尺寸会很小,泡的移动速度可能非常高。最初被开发的是称为正铁氧体
的一系列化合物,尔后是人造石榴子石,有希望满足所提条件。石榴子
石泡转换所必要的能量只不过为最小型三极管转换能的二百五十分之
一
新型石印术与超LSI(大规模集成电路)
小型化与石印术的最小板有密切关系,为了实现超LSI,最小板幅要
求在1微米以下。约0.4微米的紫外线照射光致抗蚀剂,由于照射光线的
衍射效应大,1微米的板是困难的。代之以电子束,其波长为紫外线的几
千分之一,故其衍射效应可忽略不计,1微米以下的板形成图案,应该认
为是可能的。电子束照射装置的形状类似于扫描电子显微镜。基木原
理是:在掩蔽膜(超LSI电路原图)下的光电倍增管发出的信号,通过控制
电子束扫描在试样上的断续来进行电子束致抗钠剂与光致抗蚀剂一样,
涂在半导体基板上使用,曾以各式各样的聚合物进行试制。负型电子束
致抗蚀剂有
(1)具有环氧基团的聚合物;
(2)具有丙烯酰基、甲基丙烯酰基的聚合物
(3)含乙烯基、丙烯基的聚合勃,等等。
正型电子束致抗蚀剂有
1)甲基丙烯酸酯系聚合物;
2)烯砜系聚合物,等等。
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