本文标题："电镜的分辨率和放大倍率试样分析便携显微镜"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2020-7-19 2:0:53
电镜的分辨率和放大倍率试样分析便携显微镜
以调制显相管的亮度，由于显相
管中的电子束与镜简中的电子束是同步扫描的，显相管亮度是
由试样激发出来的电子信息强度调制的，因此在试样表面上任
一点所收集的信息强度与显相管屏上相应点的亮度之间是一一
对应的，由此，试样状态不同，相应的亮度也不同，可见得到
的象一定是试样状态的反映。设置试样旁的波谱仪和能谱仪，
是用来收集特征X射线以实现试样微区成份的定性及定量分析。
逐点记录的，因此，试样各点所激发出来的各种信息都可选录
出来，并同时在显相管上或X—Y记录仪上显示记录下来，给试
样的综合分析带来极大的方便。
扫描电镜的分辨率和放大倍率
扫描电镜的分辨率有两种意义，对微区成份分析而言，它
是指能分析的最小区域。对成象而言，它是指能分辨两点间最
小的距离，这两者主要决定于入射电子束直径，但并不直接等
于直径，因为入射电子束与试样相互作用，会使入射电子束在
试样内的有效激发范围大大超过入射电子束的直径，从前图
2—29可知，入射电子束在透过试样被散射或吸收之前，将在试
样表面下层范围内运动，并激发出各种信息，这些信息的能量，
穿透能力都各不相同。只有在一定深度，一定能量的电子才能
逸出表面，才会被检测到，例如二次电子在入射电子束轰击
下，只有表层下5—50埃厚度范围内的二次电子才能逸出表
面。在这样深度范围内，电子基本上还是按入射方向前进的，
所以二次电子发射的广度与入射电子束直径相差无几，故分辨
率高。一般用于观察表面微形貌和微细结构以及断口面
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