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本文标题："表面轮廓量测方法可以使用表面轮廓测厚仪和扫描式显微镜"

发布者：yiyi ------ 分类: 技术文章 ------ 人浏览过-----时间：2013-3-5 23:1:37

表面轮廓的量测方法可以使用表面轮廓测厚仪和扫描式电子显微镜

光阻与基板之蚀刻速率对于我们在制作八阶微透镜及灰阶微透镜之重要性，

以及表面轮廓之量测方法有表面轮廓测厚仪及扫描式电子显微镜来进行量测八阶及灰阶微透镜。

　　杜曼-格林干涉法对于长焦距的灰阶微透镜而言，在焦距的

±0.5cm 处也有干涉条纹的产生，因此焦距的误差在±2%左右﹔此干

涉法无法量测短焦距的八阶微透镜。云纹干涉法对长焦距或是短焦

距的微透镜都可用此方法量测，对长焦距的灰阶微透镜而言，若在

元件尺寸内的干涉条纹数多㆒条或少㆒条会造成量测焦距的误差在

2%﹔对短焦距的八阶微透镜而言，焦距的量测误差仍然太大

(±40%)﹔改进的方式则需儘量增加八阶微透镜移动的距离，使量测

之单位长度的干涉条纹数改变量增加，以提高焦距量测的精确度

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