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本文标题："显微镜分析固体材料表面的显微结构与化学成分"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2013-4-23 17:35:15

随着微电子与奈米科技的发展，材料的结构尺寸不断地趋于浅薄细微，使得其表面与介面特性的影响度

相对地大幅提高。因此精确量测及分析奈米结构的表面和物体介面的物理化学特性，

是加速此研究领域发展极为重要的工作。X 光光电子能谱术(X-ray PhotoelectronSpectroscopy, XPS,

或称为化学分析电子能谱术，Electron Spectroscopy for Chemical Analysis, ESCA)为

分析固体材料表面的电子结构与化学成分之重要方法。它除了有很高的表面灵敏度以及甚佳的化学分析能力，光

子辐射线对于物质的破坏性较低且电荷的累积效应也较轻微，因此被广泛地应用于金属，半导体，非导体以及

有机材料的研究。XPS 之分析功能是藉着各化合物不同化学结合状态产生之位移

(Chemical state or bonding shift) 来测量的。一般的 ESCA 分析仪器因 X 光光源强度不足，

难以做细微的局部化学分析，在目前商业产品中有改良式电子透镜的 ESCA 侦测系统，但空间解析度

仍难超越 3 微米左右，其区域解析功能甚为有限。

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