本文标题："高精度微细加工的测定与品质分析图像显微镜"

高精度微细加工的测定与品质分析图像显微镜

电解电压对电解抛光加工特性之影响

电解电压主要是参考电解液之阳极极化曲线，来
设定我们所要的参数，分别为 1V、2V、3V、5V、7V。

由孔壁表面SEM电子显微镜，电解电压 1V 加工时间 5 分钟后，孔壁表面并
无明显的加工现象，由多个放电坑洞所形成的放电痕，也就是所谓的
岭高部分，仅些微的尖端产生解离而溶除。而使用电解电压 2V 时为
钝态区电压，此时电解状态易形成不动钝态，即阳极解离缓慢甚至停
止，但其加工量恰好约为变质层厚度时开始接近钝态，此时主要加工
机制为腐蚀作用。

电解电压 3V 时为过钝态区之电解电压，此区域中阳极开始解离
出现氧气，金属被活化而腐蚀解离，

实验工件材料为轧延之薄板，因此会有孔蚀或沿晶腐蚀的现象产生。

除了晶界腐蚀之外，还可发现孔壁表面有呈现阶梯状的排列，表示整个晶粒也被腐蚀，
可发现成排的孔蚀坑。

电解电压 5V 时为接近极限电流区之电压，一般电解抛光常在此区域下实行，
但由于电解时反应激烈，大量的气泡产生，瞬间移除大量的材料，不容易控制其
加工量，虽然有不错的表面粗糙度，但由于本实验为孔径约 100μm
之微细孔，为求符合微细加工的品质与精度，所以并不适合使用此电压

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