本文标题："CCD显微量测影像测量投影仪-工具型测量显微镜"

CCD显微量测影像测量投影仪-工具型测量显微镜

工具电极的修整过程中，皆可藉由 CCD 显微量测系统
进行线上工具电极尺寸的测量、加工状态的观察。实验中所修整的工
具电极，直径为 100μm 之电极分为上下两部分，下
半段为进行微细孔放电加工使用，因电极经放电加工后会消耗，使形
状精度变差，所以使用上半段未加工之电极为电解抛光用

◆ 工具电极尺寸的量测
工具电极尺寸的量测是直接经由线上 CCD 显微量测系统，采集
加工后工具电极的画面，并显示于电脑屏幕上，再透过量测工具软
体，点取五个量测值，经总和之后得到工具电极尺寸平均值。

◆ 高镍合金微细孔放电加工
修整出所需之工具电极后，我们可以马上进行线上的高镍合金微
细孔放电加工，图中右上角为高镍合金板材挟持位
置的放大图。当工具电极修整完成之后，我们可以直接将放电加工机
主轴移动至电解抛光机构之中心处，并透过 CCD 显微量测系统之观
测，使得实验观察与加工定位以及电极位置之归零动作更加便利。
最后再针对高镍合金板材进行微孔放电加工

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