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本文标题："光学法覆层测厚覆层断面测量金相计量显微镜"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2016-5-7 2:21:48

光学法覆层测厚覆层断面测量金相计量显微镜

光学法覆层测厚包括覆层断面的显微镜和扫描电镜测量，光：

切法、干涉法、偏振光法和光度法等光学装置的覆层厚度测量。

按被测件是否被破坏，光学法可分有损测量和无损测量，对于光：

学透明覆层厚度的测量通常是无损测量。

光度法或称光电法，它是利用光束通过覆层后反射光强来溅

量覆层厚度。它不仅用于测量厚度，而且是在某些覆层制备过程

中进行覆层厚度控制的一种手段。

显微镜进行光学成像测量，其质量决定于放大倍数、成像完

善性和鉴别率。

显微镜的放大倍数等于物镜的放大倍数和目镜放大倍数的i

乘积。

保证物像轮廓明显和清晰的成像几何完善性决定于物镜的质．

量，即物镜消除主要的光学缺陷色差和球面像差的程度。

显微镜的鉴别率主要决定于物镜的鉴别率，而物镜的鉴别率．

决定于物镜的数值孔径，孔径愈大，鉴别率愈高，因而分辨物体

最细小的细节部分能力愈强。在覆层厚度测量中，根据其厚度晦

范围与准确度要求，宜选择合适的显微镜。

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