本文标题："覆层厚度测量的方法-电容技术测量覆层厚度"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2016-5-8 9:41:46
覆层厚度测量的方法-电容技术测量覆层厚度
电容法适用予金属基体上非导电的
薄覆层厚度的测量，如铝管材和铝容器上的环氧漆等。微波法可用来
测量介质基体上的介质覆层厚度，特别是象测量石英玻璃上的铬镀
层厚度，测量厚度可达0．01μm。热电势法适合于铁基体上镍镀层
厚度的测量．石英振荡法特别适合予沉积层沉积过程中的厚度监
控。轮廓仪法用于测量lum以下厚的覆层有很高的准确度。机械
法象在油漆涂覆过程中厚度检测也有其特别简便之处．因此，
在一定的范围内得到应用．
电压击穿法曾被用于测量铝阳极氧化膜厚度，但由于属破坏
法、可靠性低，而被涡流法无损测量所取代。超声波法测厚可用
来测量较厚的覆层，但更普遍的是用于板材和管材等厚度的测
量；对于较薄的覆层厚度，如在100μm以内厚的覆层尸测量准确
度很低，甚至根本不能进行测量．总之，这些测匣法应用都很少，
因而不作专门的介绍。
电容法覆层厚度测量
当基体材料为铁磁材料，而且其磁导率变化范围较大，用磁
法测量覆层厚度就不适宜；同样当基体材料为导电材料时，其电
导率变化范围也较大，且基体厚度彼薄，如铝箔，也不宜于用涡
流法来测量其覆层厚度。在这种情况下，利用电容法来测量其非
导电覆层厚度是很适宜的。
电容法覆层厚度测量实际上是以规定大小的金属片作为测
头，将它放在有非导电覆层的被测金属件上，测头上金属片作为
电容的一极，而被测件基体金属作为电容的另一极，两金属片间
由于非导电覆层的存在而形成电容，其容量大小是随覆层厚度的
不同而变化的．
分度曲线，从而能快捷地确定出覆层厚度。
在电容法覆层厚度测量中，当测头置于被测件边缘处，或表
面曲率变化，或测头磨损以及温度、湿度等变化都会对被测电容
量产生一些影响；由于电容法测量频率较高，外电磁场的干扰，
以及基体电导率、磁导率变化带来电阻和电感量的某些变化，也
将对测量产生一定的影响，都应加以注意和消除。
利用电容法测量覆层厚度，覆层愈薄，测量灵敏度愈高．电
容法测量覆层厚度的范围为lOO微米以内，可测的最大厚度可达
350微米，通常测量误差是±5％．
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