本文标题："热电势镀层厚度测量技术简介-粗糙度测量显微镜"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2016-5-8 18:36:6
热电势镀层厚度测量技术简介-表面粗糙度仪测量显微镜
热电势法镀层厚度测量
热电势法测量覆层厚度的应用不甚普遍，但对某些覆层厚度
的测量，如铁基体上镍镀层、化学镀镍层，则是一种很有效的方
法，且在非磁性导电基体上非磁性导电覆层的厚度测量上也有一
定的应用。
通常热电势法测量覆层厚度的范围是从几微米到二三十微
米。
在热电势法测量中，电极和被测量点间的热电势与被测表面
状态、粗糙度以及电极的压紧程度有关，而被测件的化学成分和
结构也有影响，因而给测量带来一定的困难．
基本原理
将加热电极置于被测覆层表面，从覆层表面沿覆层厚度方向
到基体，由于热传导而产生一定的温度差，这温度差与覆层厚
度、电极面积以及覆层和基体的导热性能有关。
石英振荡法沉积层厚度测量
石英振荡法用于真空镀膜中的镀膜厚度测量和控制。在真空
镀膜过程中，将一片石英和被镀制品同时置于真空沉积装置中，
利用石英晶片沉膜层厚度的不同对振荡频率的改变，从而达到镀
膜厚度测量和厚度控制的目的．
当石英晶片两极加一电场，晶片会产生机械变形；相反，若
在晶片上施加机械压力，则在晶片相应的方向上产生一定的电
场，这种物理现象就是压电效应。当石英晶片两极加上交变电压
的频率与其固有频率一致时，将会产生谐振现象．若将石英晶片
两极接在振荡电路中，石英片在谐振条件下的振荡振幅会突然增
大，在这种条件下，振荡器将产生振荡输出。利用石英晶片的这
种特性可以实现镀膜的厚度测量和控制。
石英晶片压电效应的固有频率与其几何尺寸和切割方式有
关．当晶片上镀有某种膜层，将使晶片厚度增加，其固有频率会
相应降低．
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