本文标题："被测对象类型的不同，要选取不同的照明方案"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2016-7-3 17:50:35
被测对象类型的不同，要选取不同的照明方案
依据被测对象类型的不同，要选取不同的照明方案。在单色光
照明下基于相位探测的典型仪器可用于测量光学光滑表面。对于单
色条纹的分析将在相移干涉测量那一章探讨。对于间断点多、粗糙
程度高、高度大的测量对象要采用交替的照明方案和条纹分析。本
章主要探讨单色照明系统下扩展测量范围的技术，不过首先我们要
描述一下干涉物镜的性质和给定物镜条件下可测样本的属性。
(1)干涉物镜与测量对象参数的匹配在使用光学轮廓仪时，要
为某一特定测量选择干涉物镜，首先需要确定样本的一些参数，并
对其特性进行分解。要确定最小横向特征、最大高度范围、测量的
最大斜率及将要测量的区域。物镜(加上中间的光学元件)的放大倍
数和CCD的尺寸决定了可测量区域的大小，物镜的NA和照明类型决
定了测量对象的哪些特征可以被测到。下面讨论的一些物镜特性也
适用于共焦轮廓仪中使用的物镜。
(2)横向分辨力 为了确定样本的哪些横向特征可以分辨，首
先要知道系统的横向分辨力。基于显微镜系统的横向分辨力主要取
决于显微镜物镜的光学分辨力。只有在使用低放大倍数物镜的系统
中，才会受限于探测器的采样。光学分辨率依赖于波长和显微镜物
镜的数值孔径。
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