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本文标题："不同材料轮廓测量-不同材料对应的光学常数"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2016-7-3 21:52:38

不同材料轮廓测量-不同材料对应的光学常数

不同材料

只要物体的表面由单一材料构成，由于只引人了一个全场同一

的变化，光谱位相就不会呈现出问题。然而，当表面并排出现两种

不同的材料时，对于不同的波长材料在反射时将会引入不同的相移

(除非它们都是折射率虚部k=0的介质材料)，而且在两种材料交接

的边界上测量得到的高度差是错误的。通过就测量中所使用的波长

了解不同材料对应的光学常数，可能校正这种差异

一般说来，当用干涉技术来测量薄膜或者厚膜时，不但是其厚

度，而且其顶部和底部的轮廓都能测量。薄膜干涉的光谱位相具有

一个多项式形式，多项式与所选择膜的模型式是相匹配的，使用回

归分析可以确定最佳匹配及薄膜的厚度。

为了得到更高的精度，需要知道系统色散引起的光谱相位，并

将其去扣除。可以利用计算大小来替代，不是计算光谱位相和确定

最佳匹配模拟光谱位相，而是可以利用计算幅度，并且这样通过获

得最佳匹配的模拟幅度大小来确定膜层的厚度。这些方法适用于光

学厚度从几个微米到100nm的膜层。针对光学厚度小于100nm的膜层

，这种方法的灵敏度会明显减小。

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