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本文标题："悬浮颗粒分类微结构技术样品检测显微镜"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2017-6-13 22:47:27

悬浮颗粒分类微结构技术样品检测显微镜

环境包括：室温、空气湿度、空气及所使用介质中的颗粒密度

，如果一个0．5μm的污染物颗粒落在集成电路的重要部分，即使

不导致电路的失效也会引起巨大的损坏。半导体技术、微结构技术

和洁净室技术是相互分不开的概念。

一个低粒子浓度的环境是非常重要的，因此这就需要有一个恒

定的“污染空气”与无颗粒空气的交换。高质量的清洁室是在层流

下运行的，因为空气的涡流增加了实验室环境下颗粒的停留时间。

实际的洁净室是由第二个封闭层即“灰室”(在此已调整好新鲜空

气流的温度和湿度)构成的壳型结构。添加的新鲜空气通过过滤的

天花板到达洁净室，然后以适当角度并以层流流向洁净室地板，在

力的作用下通过地板，再通过气道传输回位于天花板上面的气体处

理室。在处理室内，一些化学加工产生的废气被直接提取并分离后

处理。循环的空气与一定温度和湿度的新鲜空气混合后，再送回到

位于过滤天花板上面的压力室。通过对过滤器的滤孔尺寸、空气流

量和制造环境参数的控制，可以得到一个符合悬浮颗粒分类空气质

量等级标准的环境

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