本文标题："图像与样品SEM中的透镜放大图像而是用来会聚电子束"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2014-6-24 17:15:52
图像与样品SEM中的透镜放大图像而是用来会聚电子束
在SEM中电子束在样品表面逐点扫描，并采用阴极射线管电子束和入射电
子束同步扫描模式收集各个点的信号，在显示器上组成图像。因此显示的图像是
入射电子束扫过样品时所检测到的信号强度的变化。SEM的最终性能受电子束
直径的限制。SEM中的透镜不是用来放大图像而是用来会聚电子束。会聚透镜
将电子束直径从50μm聚合到约5nm.调节会聚透镜使电子束以最小直径照射样
品，便可使图像聚焦。放大倍率是通过显示图像与样品被扫描区域间的简单关
系计算得到的。
当入射电子束撞击样品表面弱束缚的传导电子时，产生二次电子。由于
二次电子能量较低(<50eV)，仅仅距表面约10nm内的二次电子能够逃离样品表面
检测信号强度依赖入射电子束和样品的夹角。这两个因素意味着二
次电子信号能够提供最高分辨率的形貌信息。
与之不同的是背散射信号是由弹性散射电子产生的.弹性散射电子是由样品
原子核在0°-180°范围内反射回来的入射电子。其中散射角大于90°的电子仍然
具有高能量，能够重新从样品逸出。在相同的操作条件下，该信号比二次电子来
自更大的样品体积，因此提供的表面形貌信息分辨率低于二次电子。不过，对于
原子量大的原子散射悄况更容易发生(或入射电子能量低)，因此通过背散射信
号能够为非均相样品定性地提供组成信息。
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