本文标题："SEM电子显微镜测试样品-放大倍率和图像分辨率"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2014-6-25 5:15:23
SEM电子显微镜测试样品-放大倍率和图像分辨率
SEM用来观察材料的表面结构，其分辨率小于2nm.因此.它能够用来测
定粒子尺寸、形状和分散度，也可以通过X射线信号测定样品的化
学组成和元素分布。
与TEM不同，SEM测试中样品尺度纯粹受样品室物理尺寸的限制，而
不是透镜和孔径。典型的样品台直径在10~ 40mm范围内，当然样品可以
比它薄得多。
一般而言.观察块状样品和薄膜状或分散状的样品都一样容易。除了要符
合能常规成像的样品应具有的稳定性标准外.不导电的样品必需包搜一层
导电膜(碳、金、铂或把)。这样可以防止电荷在样品上的聚集而使相关
图像扭曲
主要的可调的仪器操作条件有加速电压、扫描速度、光斑大小/电子束电流、
光阑大小、工作距离和倾斜度.
SEM中用的加速电压比TEM低.典型值在1kV到30kV之间。电压的选
择取决于材料的性质、需要的放大倍率和图像分辨率。一般来说，高分辨率的工
作需要较小的光束立径，因此需要用高的加速电压来产生较强的发射信号以便成
像。不过，SEM中高加速电压会导致电子束对样品的穿透厚度增加
(比如AlSkeV-lnm, 30keV-10nm)。图像信息更大程度地来自样品更深处，因此造
成表面细节丢失。样品损伤机会加大
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