对显微分析又兼有定性与定量分析之能力。对固态元素定性与定量分析，适用于Z>11(Na)，分析能力约为 100ppm，解析范围约为1um。单独作定性分析可测至Z>5(B)。通常EPMA同时附设 WDS及EDS之侦测设备，两者功能可以利弊互补，WDS 解析敏度为100ppm; EDS则为 1000ppm (0.1wt%)。在重元素材质中含有轻元素时，解析度则更差。EPMA 之电子束涵盖试片面积，直径约为1um，电子贯穿试片深度亦约为lum。

 

         作定量分析时，试片必须磨平，材料之破裂断面以及基材内含有不规则形状之颗粒，EPMA 虽也能分解，但精度较差EPMA是有多种功能的显微分析工具。它特别适用于:(1)微组织内含有个别相的成份分析 ; 譬如钢铁合金内之析出物，第二相等。(2)晶界间成份梯度之变化及分佈状态。(3)个别相组织内成份均匀或不均匀之分佈状况(在lum范围内)。以及(4)非均匀元素分佈图 (mapping) 之测定等。