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本文标题："扫描电容显微镜的应用-上海光学仪器厂"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2013-3-9 0:50:43

扫描电容显微镜的应用-上海光学仪器厂

扫描电容显微技术是将一仟赫兹的AC 偏压加在欲测半导体试片上或导电探针上，

使此二者之间产生电场，经由电场的改变，探针下的自由载子可以改变成为带正电荷或负电荷，而形成载子空乏或累积区域，

此现象可视为移动的电容板。

决定此电容板移动的距离之三个主要因素为施加电场的强度、导电探针与半导体间之介电层（通常为氧化层）的品质与厚度、

及自由载子的浓度。自由载子可视为屏障或接收外加电场；当电场强度越大或自由载子浓度越低，

则表面空乏层就会越深。导电探针与半导体间之介电层的厚度越大，则通过的电压降越大。简而言之，

扫描电容显微技术就是一种具平面解析度的C-V量测技术，藉由监测外加AC波形偏压变化下的电容变化值，而观察与分析出载子浓度的多维动态影像。

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