本文标题："制作的绕射式元件所量测焦距的方式-光学常识"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2013-3-6 10:8:14
制作的绕射式元件所量测焦距的方式-光学常识
预知并了解所设计的元件的特性。
对于使用 BOE 溶液来蚀刻石英，其目的是要将经由活性离子蚀
刻后的灰阶微透镜之石英，使其表面的形状缓和，若在 BOE 溶液中
浸泡太久会有侧向蚀刻的情况产生，会造成元件表面的图形走样而
使得元件的特性改变，因此在浸泡 BOE 溶液时，时间需要拿捏在几
秒中就可以达到让 3D 元件的表面缓和并不会破坏元件的图形，而
影响其绕射效果。
对于之前制作的绕射式元件所量测焦距的方式有：杜曼-格林干涉
法和云纹干涉法两种，对于长焦距的灰阶微透镜而言，使用这两种
的量测方式误差范围大约在 2%左右，但对短焦距的八阶微透镜而
言，目前只能用云纹干涉法来量测，也因元件的尺寸太小造成在元
件尺寸内的条纹数过少，因此对焦距的量测上会有 40%的大幅度误
差，其解决的方案是在增加八阶微透镜移动的距离时，使量测之单
位长度条纹数改变量增加，以提高焦距量测的精确度
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