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本文标题："扩散工艺中对所用材料样品研究级实验显微镜"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2015-7-27 21:5:37

扩散工艺中对所用材料样品研究级实验显微镜

在扩散工艺中对所用材料与仪器的纯度与洁净度均有极高要

求。

尘粒、有机杂质和无机杂质都会产生局部合金化和扩散源，它们

会破坏理想的高度完美的结构。应指出，尘粒和其它：通常为惰性

的材料在扩散温度下会变得导常活跃和易起化学反应。

成功的扩散工艺还要求控制掺杂源，不允许有其它掺杂源。在工

艺操作过程中，石英炉管所吸收的掺杂剂在以后的扩散近程中足以

充当新的掺杂源。在扩散炉的扩散区或扩散区附近使用的推杆、石

英舟和其它操作工具也会起相同的作用。因此，扩散炉、炉管和

操作工具是专用于某一扩散工艺的。若磷、硼扩散

用的炉管互换使用，或两者均使用于热氧化生长的场合，就会造

成很大的席烦。

对携带气体及有关的罐、阀门和连接管道同样应仔细地进

行操作。在应避免潮湿或氧气气氛的工艺场合中，气体管道、阀

门和接头必须密封防潮。

当扩散炉散发的高热足以烧灼塑料管道时，就会产生另一

个问题。塑料管道所释放出来的气体足以沾污整批硅片。

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