本文标题："表面粗糙度会影响衍射图分辨力,表面检验显微镜"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2015-11-2 4:30:49
表面表面粗糙度仪会影响衍射图分辨力,表面检验显微镜
为了制造复制模，用一层漆膜覆盖待检验的表面，这层漆膜
在干涸后含有该表面的细节。然后，从表面仔细剥去这层膜，以
免损伤有用的表面。为了改善电子象的衬度，将复制表面荫蔽，
即用真空汽化法沿一定方向沉积一层原子序数高的金属。将一层
碳或其它无定形材料置于真空中沿表面垂直方向蒸发。最后，将
在解释用这种方法获得的象时，另一种困难是，在同一复制
模上不能连续观测大大小小的表面。连续观测就可以确定所观测
的特征的位置和相互关系。此外，在复制模上也粳难找出一定面
积的实际表面。复制模的优点是，它是一种非破棼性方法，能观
测表面在磨损过程不同时期的演变。
通常，反射衍射图比较分散，其分辨能力不及透射图的分辨
能蔫用反射技术时，表面粗糙度会影响衍射图的分辨能力。当
粗糙度很高时，除了反射本身外，还会出现穿过微凸体顶峰的透
射规象。因此，用衍射来检验在摩擦副表面上形成的薄层时，只
席粗糙度低的表面。
试样表面上的光点位置受到插在聚光透镜与物镜之间的
一组偏转线圈所控制，从而保证最终聚焦。偏转系统使表面能用
类似于电视中所用的扫描技术来检验。
试样所发射的次级电子被闪烁器一倍增器换能器所收集。这
时给出的电信号与所用的次级电子流强度成正比，经过适当放大
后可调制阴极射线管的强度。使两束电子束同步地偏移(偏离显
微镜和阴极射线管)，可显示待检验表面的光学照片。应该指出，
和其它显微镜不同，这种显微镜不能直接提供表面的象；只有靠
分析器电子束与阴极射线管电子束以不同的幅度进行扫描，才能
得到放大。最终的象是逐点形成的，而分辨率取决于试样电子点
的直径。目前，直径能小于1μm，从而导致实际分辨率小于1μm．
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