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本文标题："接触式AFM电子显微镜仪器的优点有哪些"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2013-1-12 5:20:52

接触式AFM电子显微镜仪器的优点有哪些

扫描探针显微术

(Scanning Probe Microscopy, SPM)

✓ 材料制造尺寸已由微米、次微米，逐渐发展至奈米级精密处理，高解析表面分析技术为重要关键技术之一。

✓ 扫描探针显微术(SPM)具有原子级表面形状解析度，并可检测多种奈米级表面特性如力学特性、电性、磁性、热性等等。

✓ 优点为仪器体积小，样品无需特殊处理，可在任何环境下进行测量。

SPM除了极佳的影像解析度外，它对试片表面高度之起伏非常敏感，所以亦常用在侦测表面起伏之剖面形貌、镀层之表面粗糙度……等。

一般说来，试样表面高低差若在10nm以内，则以SEM来检测会因表面太过平滑而看不到影像，此种情况，可选用SPM来作检测。AFM

的操作模式可分为三种:接触式、非接触式及轻敲式(TappingMode)。由于接触式侦测的是探针与样品间原子的排斥力，而排斥力

对距离非常敏感，所以接触式AFM较容易获得原子解析度．而其他两种模式则相当困难

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