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本文标题：" 扫描式电子显微镜最佳解析度已达0.6nm，具有景深长的特点"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2013-1-13 0:21:5

扫描式电子显微镜

扫描式电子显微镜(Scanning Electron Microscope, SEM)是奈米材料显

微形貌观察方面最主要、使用最广泛普遍的分析仪器。其影像解析度极高，

目前最佳解析度已达0.6nm，并具有景深长的特点，可以清晰的观察起伏程度较大的样品。

如破断面，仪器操作使用容易方便，试片制备简易;多功能(如分析磁性对比);加装附件，

并可作微区化学组成分析、阴极发光分析…等。所以，

SEM可说是一高性能又快速的检测分析工具，使用量非常频繁。

SEM产生电子束的装置叫做电子qiang，传统的热游离电子qiangSEM之影像

最佳解析度为5.0nm。场发射电子qiang(Field Emission Gun)因可提供直径极小、亮度极高，而且电流稳定的电子东。所以可以大幅提高影像解

析度，在30kV加速电压下达1.2nm，在lkV下方可达到4.5nm。

如进一步将试片室(Sample Chamber)移至高激发物镜内、即成In-lens型FEGSEM，它因大举缩短工作距离，并将二次电子以外的杂讯几乎全部去

除，所以能大幅提高解析度，在30kV下达0.6nm，在1KV下亦可达到3.5nm，这已快接近TEM的影像解析度了。

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