欢迎来到上海光学仪器一厂

本文标题："以激光为光源设计具光谱和显微镜整合的光学量测仪"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2013-3-2 10:58:8

共焦显微镜售价极高且系统改装不易，

以光学元件建构而成的共焦显微镜，并配合各式光谱量测技术与差动式共焦显微术，进行设计具光谱及显微术整合的光学性质量测系统。

装置了两套共焦显微术系统，包括萤光共焦显微系统与差动式共焦显微术系统，

前者以萤光激发雷射为光源，后者以高稳定性单频雷射为光源

使用高稳定性(扰动< 0.1%)氦氖雷射为光源，并利用极化分光器与二分之波长板

与四分之波长板作强度调变与回授光分离，使用 PI 公司所生产的压电驱动控制平台，作样

品二维扫瞄与物镜纵向驱动的奈米级驱动控制。光侦测器所收集到的共焦光子信号经放大

后，透过类比/数位信号撷取卡，利用 LabVIEW 软体进行信号撷取与三维扫瞄的自动控制

使用 532 nm 波长的雷射为光源，与数值孔径 0.65 的 40X 物镜，以直径 1 µm 的萤光

小球（激发中心波长 540 nm，放光中心波长 560 nm）为样品，进行萤光共焦显微术的 X-Y

二维扫瞄，其结果如图三所示。扫瞄面积为 50 x 50 µm2，影像中心的萤光小球直径（箭头

标示处）经影像强度剖面分析，纵向与横向的半高全宽值分别为 1.0 µm 与 1.5 µm，验证了

共焦显微系统的二维解析能力与萤光影像能力

开发制作了微流道晶片。以半导体材料为基材，采用光罩显影与曝

光蚀刻的技术，并在微流道中间设计了柱状的微米尺度结构。柱状微结构每个直径为 20

µm，柱状中心间距为 30 µm。

柱状微结构的光学显微镜观察结果以及差动式共焦显微术的扫瞄结果

tags:金属,金相显微镜,上海精密仪器,

以激光为光源设计具光谱和显微镜整合的光学量测仪,金相显微镜现货供应