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本文标题："金属材料及微元件表面轮廓测量仪器-测量工具显微镜"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2013-5-8 17:16:8

金属材料及微元件表面轮廓测量仪器-测量工具显微镜

一种新式的摩尔(Moiré)轮廓术之量测方法用于微元件之量测。

使用光栅片产生正弦条纹结构光并结合由电脑产生之虚拟光栅互相叠加产生摩尔条纹影像。

此方法的优点在于可以藉由调整虚拟光栅之周期来改变产生之摩尔条纹的周期，也因为其优越的调变性在量测时可避免阶高量测范围之限制。

不过有一个问题存在于摩尔条纹影像中，即两个不同周期之条纹结构光进行叠加时，除了叠加的摩尔条纹部分以外，未叠加之高频条纹结构光亦会残留于影像上，

使摩尔投光量测法受到影响。为了解决此问题，本研究提出了藉由光栅片产生之条纹结构光经投射至物体表面所产生之变形结构光，

与电脑产生之具相同相位之虚拟光栅进行四步相移进行叠加，如此可获得一清晰之摩尔条纹影像，

同时，经投射至物体表面所产生之变形条纹结构光再与经相移(分别为pi/2, pi, 3pi/2)之虚拟光栅分别进行上述之叠加演算，

如此可建立具四步相移之清晰摩尔条纹影像。由实验结果证明，从标准件上多次阶高块之重复性量测结果得知，

所发展之系统在一个量测标准差均可低于1μm，且量测精密度与Keyence VK-9700扫描显微镜相比，

两者之间之最大相异度在2%以下，相较于传统四步相移法量测之精确度亦提升1%以上，显示本研究所提出量测方法之优越性。

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