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本文标题："透明导电TCO膜具有良好的导电性及透光性"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2013-6-16 0:43:51

透明导电氧化物(TCO)的薄膜被重视，因为它们已被用來作为透明电极，在各領

域，如太阳能电池、平面显示器和发光元件。氧化锌（ZnO）是一种很有前途替代

氧化铟锡(ITO)的材料，氧化锌薄膜为N型Ⅱ–Ⅵ族半导体具有宽能隙(室温下约3.37ev)，

属六方最密堆积纤锌矿结构(hexagonal wurtzite structure)，

因具有良好的导电性及透光性，TCO薄膜材料的开发、性质与制程的改良、以及应用研究

等，一直都备受重视，特别是在光电領域方面。由于纯ZnO薄膜导电性与热稳定性

不佳，一般常掺入Al、Ga、In等杂质來提升其导电性与改善其热稳定，IZO(indium-

doped ZnO)薄膜在导电性提升上有很大的帮助。由于In3+離子比Zn2+離子多一价电

荷，当ZnO晶格中的Zn2+離子被一个In3+離子取代时，可多提供出一个自由载子，所

以IZO薄膜相较于ZnO薄膜，其自由载子浓度较高并且掺杂的In 原子在佔据晶格结

构中之格隙位置，同时会引起晶格结构扭曲，反而会造成电子的移动率下降。当掺

杂其他金属離子于ZnO中，随着掺杂的量增加，同样会造成自由载子浓度提升，电

子移动率下降的现象发生，所以掺杂量对于导电性的提升有很大的影响

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