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本文标题："晶片微细加工品检用金相显微镜-上海光学仪器一厂"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2013-1-31 5:4:31

晶片微细加工品检用金相显微镜-上海光学仪器一厂

要造就如此微小又兼具传导、震动、移动等机械功能整合于一身的感测器，

一般的机械加工方式均无法达成，唯有奈米电子MEMS可以实现微细加工的要求。MEMS即是在１块晶片(矽和玻璃材料)上使用微加工的技术，

例如: 黄光图形化、刻蚀、金属电铸、掺杂等手段，将机械功能(磁性传感、移动齿轮、加热)、和电气功能(梳状电刷开关、传导导线)进行整合于1块晶片上，

你可以在电子显微镜下看到如针尖一般大小的齿轮在转动，或是如头髮直径一般细小的转子在转动中量测到角速度，再将能量转移成传感模式

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