本文标题:"元件灌封工艺样品金相制样步骤-金相显微镜"
发布者:yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间:2014-6-4 17:15:47
对于大多数元件。真空灌封工艺是非常可靠的。然而,在对关键的一类样品
进行灌封时,摩尔夫(Murphy)法则不可避免地也会出来捣乱。已经拟定出各
种措施来补偿用环氧树脂座圈所遇到的问题.协一挤
环氧树脂开裂是环熟树脂脱离样品表面的一种状态,开裂的原因可能是
在灌封之前样品不干净.固化剂和树脂的比例失调或刻蚀有问题。制备存在
这种状态的座圈将导致完全丧失边缘的完整以及反映任何关键表面特征的能
力。开裂通常能够通过回填环氧树脂加以弥补.
回填步骤:回填步骤的第一步是在水杯中用超声波清洗样品。然后,从
水中取出样品并用压缩空气吹干。将样品放入100℃的烘箱,以驱散开裂界
面内存在的任何残余湿气.然后,将一段透明带缠绕在座圈顶端边缘四周,
形成一少环.再将环氧树脂混合,在座圈表面上灌注环氧树脂薄层。将座圈
放入真空室,抽出空气,因而能使环氧树脂填充因开裂形成的问隙。然后,
使空气进入真空室。抽真空和送入空气的循环重复两三次,以保证环氧树脂
完全回填。然后,将座圈从真空室取出并在室温下固化。
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