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本文标题："扫描电子显微镜广泛应用在氧化膜形貌的观察和分析"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2016-9-27 16:13:42

扫描电子显微镜广泛应用在氧化膜形貌的观察和分析

扫描电子显微镜SEM

　　现在扫描电子显微镜广泛应用在氧化膜形貌的观察和分析上。入射

电子束在样品表面扫描，激发的二次电子和背散射电子被探测器接收，

产生电信号调节电视监视器的亮度，由于监视器的扫描与电子束同步，

而且产生的二次电子和背散射电子的数量取决于样品表面某微区的倾角

和聚焦深度，因此生成的图像与样品的表面形貌完全对应。用背散射电

子成像还可获得有关原子平均质量方面的信息。配置场发射电子枪的现

代扫描电子显微镜图像"1放大倍数可高达100 000倍，分辨率达1 000 n

m。

　　因为人射电子还能从固体中激发出元素的特征x射线，所以可检测

固体中存在的元素，如果做适当的校准，还可确定各元素的含量。x射

线探测器的输出还可用于调节监视器的亮度，从而得出指定元素的相对

含量图。由于能够同时给出显微组织和组成方面的信息，SEM成为研究

氧化膜形貌特征的非常有用的工具。

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