本文标题："热探测技术多种不同物理机理-机械加工分析显微镜"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2017-3-28 1:57:56
热探测技术多种不同物理机理-机械加工分析显微镜
热探测器工作原理
热探测器技术涉及多种不同的物理机理，进而导致多种可测量
的特性。所有这些机理的相同之处在于：吸收的热将使器件的温度
升高，从而可以观察到器件的某些可观测的特性的变化。两个主要
的类别包括热电变换器效应(塞贝克效应和热电效应)与器件对电子
信号进行温度调制的参数化变换器。
佩尔捷一塞贝克效应(由佩尔捷，塞贝克和约翰逊独立地发现)
是温度和电压之问的双向转换。热电偶器件和佩尔捷制冷器利用这
一效应对探测器制冷。在热电器件中，温度变化导致材料中的介电
极化变化。热电探测器经常用于安防应用中的红外运动探测器。在
测辐射热计探测器中，温度变化导致器件电阻的变化。纳米技术测
辐射热计可用于低成本热成像应用。
除了较早提到的类型外，在热探测器中也利用其他效应。这些
效应都不需要采用小带隙的半导体材料，因此不需要为了在长波长
工作对材料制冷。某些热探测器对温度效应敏感，如在居里温度以
上丧失电介质极化的热释探测器。
所有热探测器的共同需求是敏感单元必须与环境温度通过结构
隔离，从而使敏感单元能检测微小的温度变化。探测器单元热平衡
受到3个热流路径的影响：①物体(目标)的入射辐射通量；②探测
器单元的热辐射通量；③从探测器单元到探测器衬底的热传导。热
探测器I生能优化需要对热平衡方程进行谨慎的优化。
现代热探测器采用与器件的表面相比具有非常小的热容量的单
元，从而对于给定的吸收能量，使温度有最大的升高。类似地，由
于辐射区域相对于探测单元的热容量大，一旦入射能源移出，探测
器快速冷却
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