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本文标题："晶圆切削泥材料的主要成分简介-材料检测显微镜"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2013-3-22 5:41:41

晶圆切削泥材料的主要成分简介-材料检测显微镜

矽晶圆为多晶矽材料的下游，为矽晶太阳能电池的上游，

制程上矽晶圆切削矽泥主要回收产物包括废有机溶剂、碳化矽与矽2 项，

矽泥之组成主要成分为有机溶剂、碳化矽(SiC)、矽(Si) 与微量的铁等组成，

一般回收业者先行回收DEG 或PEG( 二乙二醇或聚乙二醇等溶剂) 之后，

利用旋转式真空离心、过滤等方式，以物理分选程序，利用矽与碳化矽之粒径大小不同，

采连续式真空高速离心(Decander) 分离固液二项，固相回收大颗粒的碳化矽固体料，

液相则为剩馀小颗粒，成份为矽、少量碳化矽以及铁等金属之混合物，在经滤网压滤后乾燥，

制成不同等级的炼钢用脱氧剂产品贩售。固相碳化矽之纯度需达98.5% 以上冶炼等级，

利用多次酸碱反应，调整反应槽的pH 值与经多次水洗压滤及乾燥程序，提昇碳化矽回收物之A 级品纯度高于98.5%，

不但解决业者目前仅能回收废有机溶剂技术瓶颈，

也可回收与贩售不同等级矽与碳化矽再生产物( 二次料)，

也能大幅降低太阳能矽晶圆产业对于碳化矽原料( 一次料) 依赖，减低碳化矽原料高耗能提炼对于环境衝击。

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